Procesos de verificación

Sistema Woollam Alpha SE. Opera en el rango de longitudes de onda 380-900 nm. En este equipo la fuente y el detector pueden ser colocados a ángulos fijos de 65 °, 70 °, 75 ° o 90 ° (directo). El elipsómetro permite determinar el espesor de las películas delgadas durante el proceso de fabricación.

El Microscopio óptico es marca Leica XLM3. Viene integrado con objetivos de 5, 10, 20, 50 y 100 X. Cuenta con iluminación LED de luz blanca de última generación para obtención de imágenes por reflexión. Tiene una plataforma rotatoria para colocar la muestra, cuyos movimientos en XYZ pueden ser controlados manualmente a pasos micrométricos. Tiene una cámara CCD que permite obtener las imágenes en forma digital.