Aplicación de fotoresina y HMDS

El girador (conocido en inglés como spinner) Midas Spin-3000TD permite velocidades de giro de hasta 7000 RPM, con aceleración controlada por tiempo. Su sistema de dispensador está compuesto por dos tanques y 3 boquillas que permiten la aplicación de dos químicos como acetona y alcohol isopropílico y llevar a cabo el proceso de secado con nitrógeno. Su interfaz con el usuario es a través de una pantalla táctil.

Sistema PicoTrack PCT 150 RRE permite funcionalizar las superficies de las muestras con HMDS (Hexamethyldisilazane) para mejorar la adhesión de la fotoresina. El sistema está totalmente automatizado y permite trabajar con obleas de 4 y 6 pulgadas. También permite hacer recocidos de las muestras en vacío a temperaturas de hasta 250 grados centígrados.

Esta plancha se utiliza para evaporar los solventes de la película de fotoresina. La optimización del recocido de las muestras puede influir positivamente en etapas posteriores de la fabricación. Durante el recocido, el espesor de la resina normalmente disminuye un 25%. Este proceso se debe llevar a cabo en una superficie lisa para un buen contacto térmico y un calentamiento uniforme. El tratamiento térmico usualmente se realiza a una temperatura entre 90 y 120 ºC durante 60 segundos, aproximadamente. La resina y el tipo de substrato son algunos factores claves a considerar en el desarrollo de un proceso de calentamiento.

Para llevar a cabo el proceso de recocido y evaporación de solventes, el laboratorio cuenta con una plancha (Hot Plate) marca AS ONE que puede ser programada desde una computadora.